二次離子質譜儀（SIMS）分析方法

Q：

樣品大約120個微米，想研究下表層深度元素分析（5~6um左右），用什么檢測儀器可以做呢？

A：

掃描電鏡+能譜應該可以

SIMS(二次離子質譜)或者AES（俄歇電子能譜）可以做空沿深度方向上的分布

EDS（掃描電子顯微鏡能譜儀）面掃描就應該可以了吧

引用: SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布

有一個問題是，深度剖析的話，對于你說的檢測方法來說，120um的樣品檢測時是不是可以人為設定需要打到的深度

可是試試XPS（X射線光電子能譜），是專門做表面元素分析的，精度也比較高，但樣品元素含量太少的話，對精度有一定影響。表面剝離2個原子層左右。具體你可以聯系廠家，仔細問問情況，看能不能滿足你的要求。不過做一個樣品的費用比較高，4000左右。

對于微納米級的粉體來說，而且要求比較高精度，用EDS能譜的確不太適合；
XPS可以考慮，制樣的問題要注意，不過我們這XPS沒有那么貴，同樣是微納米級的粉體，我們去南大做的，一個樣是300.

如果有的話，俄歇能譜（Auger electron spectroscopy）是最好的